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高性能氣動(dòng)隔振工作臺(tái)

發(fā)布日期: 2024-04-23
訪問量: 1543
高性能氣動(dòng)隔振工作臺(tái),設(shè)計(jì)安裝在地面上,可實(shí)現(xiàn)**的潔凈室兼容性。隔振性能由相同的Gimbal Piston™元件提供,它還可為光學(xué)平臺(tái)、電子顯微鏡、精密天平和掃描隧道顯微鏡提供**的隔振性能。
  • 詳細(xì)內(nèi)容

全不銹鋼TMC ClassOne™工作站是一款高性能氣動(dòng)隔振工作臺(tái),設(shè)計(jì)安裝在地面上,可實(shí)現(xiàn)**的潔凈室兼容性。隔振性能由相同的Gimbal Piston™元件提供,它還可為光學(xué)平臺(tái)、電子顯微鏡、精密天平和掃描隧道顯微鏡提供**的隔振性能。

 

ClassOne工作站用潤(rùn)濕酒精的無絨布進(jìn)行了擦拭,并在出廠前用塑料進(jìn)行雙層包裹。

潔凈室工作站(圖1)

Gimbal Piston隔振器

所有CleanBench工作臺(tái)均采用TMC的Gimbal Piston空氣隔振器作為標(biāo)準(zhǔn)配置。在并排測(cè)試中,Gimbal Piston的性能一直優(yōu)于其他空氣隔振器。它在所有軸上都有出色的低頻隔振性能,即使在極低的輸入激勵(lì)水平下也能保持其性能規(guī)格。專有的減振技術(shù)使Gimbal Piston能夠穩(wěn)定上重下輕的有效載荷,并能迅速消除隔振臺(tái)面的干擾。

 

潔凈室工作站(圖2)

優(yōu)點(diǎn)

? 從2 Hz開始的垂直和水平隔振

? 在10 Hz時(shí)振動(dòng)減少95%以上

? 幾乎無摩擦,避免了滾動(dòng)摩擦向靜摩擦過渡

? 通過充當(dāng)萬向節(jié)來調(diào)整水平位移

? 即使是**低輸入水平,Gimbal Piston®空氣隔振器也可在各個(gè)方向上提供出色的隔振性能。它具有輕微的阻尼特性,對(duì)典型的低振幅環(huán)境地面振動(dòng)具有高響應(yīng)性,而對(duì)于嚴(yán)重的瞬態(tài)干擾(例如突然的負(fù)載變化或頂板撞擊),它可實(shí)現(xiàn)非常好的減振效果。結(jié)果表明,Gimbal Piston隔振器可提供**的隔振效果,幾乎可以在幾秒鐘內(nèi)消除任何嚴(yán)重干擾。它還可以穩(wěn)定具有相對(duì)較高重心的隔振系統(tǒng),而不會(huì)影響隔振效果。

 

低振幅輸入響應(yīng)

潔凈室工作站(圖3)

 

在設(shè)計(jì)有效的隔振器時(shí),所遇到的**挑戰(zhàn)是在周圍建筑地面振動(dòng)的典型低振動(dòng)幅度輸入下保持良好性能。隔振器規(guī)格通?;趯⒏粽衿鞣胖迷谡穹斎胨椒浅8叩摹罢駝?dòng)臺(tái)"上進(jìn)行的測(cè)量。這種輸入振幅約為毫米的測(cè)試會(huì)導(dǎo)致對(duì)性能的估計(jì)不切實(shí)際,并且具有誤導(dǎo)性,因?yàn)榻Y(jié)果不能反映實(shí)際使用中的性能。

 

Gimbal Piston隔振器設(shè)計(jì)的**之處在于即使在**安靜、真實(shí)的地面環(huán)境中也能保持其規(guī)定的共振頻率和高水平的衰減量。這種性能與如此低的振幅成線性關(guān)系,因?yàn)樵O(shè)計(jì)幾乎沒有摩擦,因此能夠避免滾動(dòng)摩擦到靜摩擦過渡。

 

我們?cè)诘湫偷牡孛嬲駝?dòng)水平下測(cè)試的所有其他系統(tǒng)要么比聲稱的共振頻率高,要么通過隔振器支架的傳輸大幅增加。

 

我們強(qiáng)調(diào)性能規(guī)格在低輸入水平的重要性,因?yàn)槲覀冊(cè)谧约旱臏y(cè)試和許多使用過的設(shè)備中反復(fù)觀察到,在更大的振幅和更高的頻率下更容易實(shí)現(xiàn)更好的性能。

潔凈室工作站(圖4)

 

水平與垂直輸入

我們創(chuàng)新的隔振器可以充當(dāng)萬向節(jié),使薄壁滾動(dòng)密封膜片能夠適應(yīng)水平位移。Gimbal Piston隔振器未使用電纜式鐘擺懸架,而是將載荷放在一個(gè)單獨(dú)的頂板上,該頂板上有一根向下伸入到主活塞井內(nèi)的剛性桿。桿的底部有一個(gè)支撐在堅(jiān)硬、平坦底座上的球形端部。由于球在底座上非常輕微地?fù)u動(dòng)(無滑動(dòng)或滾動(dòng)),因此,固有的柔性聯(lián)軸器可在隔振器中水平彎曲。即使輸入位移在微英寸以下水平,該方法也非常有效,因?yàn)殪o摩擦幾乎與滾動(dòng)摩擦相同。水平運(yùn)動(dòng)只是轉(zhuǎn)換為通常的垂直膜片彎曲,但不同相:活塞的一側(cè)向上,另一側(cè)向下,以萬向節(jié)式運(yùn)動(dòng)。

 

潔凈室工作站(圖5)

 

其他類型隔振器的局限性

厚壁橡膠膜片。大多數(shù)商用隔振器在活塞中采用廉價(jià)的厚壁橡膠膜片來實(shí)現(xiàn)垂直隔振。由于這些元件的相對(duì)不靈活性,低振幅隔振性能不太理想。雖然這種系統(tǒng)用手感覺起來較“柔軟",但對(duì)于典型的低水平地面振動(dòng),橡膠更像是一個(gè)剛性聯(lián)軸器而并非柔性隔振器。

 

密封氣動(dòng)隔振器(被動(dòng))。密封空氣隔振器不會(huì)自動(dòng)根據(jù)負(fù)載變化進(jìn)行調(diào)整。這種系統(tǒng)的主要局限性在于,它們太硬而不能有效地隔振。例如,一個(gè)真正1.5 Hz共振頻率的被動(dòng)隔振器在負(fù)載、溫度或壓力發(fā)生微小變化時(shí)會(huì)垂直漂移幾英寸,并且需要不斷的手動(dòng)調(diào)整。因此,實(shí)際密封隔振器并沒有這一設(shè)計(jì)的低共振頻率。

 

軸承滑板。 理論上,軸承滑板可通過其解耦效應(yīng)實(shí)現(xiàn)水平隔振。實(shí)際上,如果要讓這種設(shè)計(jì)在低振幅下工作,就需要公差很小、經(jīng)過精密磨削的硬化軸承?,F(xiàn)有的商用版本不能克服低振幅下的靜摩擦力以使軸承滾動(dòng)。此外,所有這些系統(tǒng)**初都很難對(duì)齊,并且很容易偏離校準(zhǔn)范圍。

 

自制組裝。 自制隔振系統(tǒng) - 通常是放置在橡膠墊、網(wǎng)球或氣囊上的鋼板或花崗巖板 - 只有在干擾振動(dòng)頻率高且需要**小隔振的情況下才能工作。雖然所有隔振器都使用在阻尼彈簧上放置質(zhì)量的原理,但它們的性能主要通過彈簧剛度來區(qū)分:彈簧越硬,共振頻率越高。因此,自制解決方案受到其高共振頻率的限制。

 

具有1.5 Hz垂直共振頻率的Gimbal Piston™隔振器在2 Hz時(shí)開始隔振,并可在10 Hz時(shí)將振動(dòng)降低95%以上。具有7 Hz共振頻率的鋼板下的網(wǎng)球在10 Hz以上開始隔振并在30 Hz時(shí)將振動(dòng)減小90%。但是大多數(shù)建筑物地面在5到30 Hz之間表現(xiàn)出**高的振動(dòng)位移,因此網(wǎng)球或橡膠墊通過放大5到10 Hz之間的環(huán)境頻率實(shí)際上會(huì)使問題變得更加嚴(yán)重。

潔凈室工作站(圖6)

 

高性能氣動(dòng)隔振工作臺(tái) 規(guī)格

Isolator natural frequency:
High Input
 
Low Input
 
Vertical=1.2Hz
Horizontal=1.0Hz
Vertical=1.5-2.0Hz
Horizontal=1.2-1.7Hz
Isolation effciency@5HzVertical=70-85%
Horizontal=75-90%
Isolation effciency@10HzVertical=90-97%
Horizontal=90-97%
Recommended payload350lb(160kg)
FinishElectropolished stainless steel frame,passivated or electropolished stainless steel top
Facilities required80 psi nitrogen or air

 

潔凈室工作站(圖7)

 

訂購(gòu)表

帶Gimbal Piston隔振的ClassOne工作站

工作臺(tái)尺寸(深 x 長(zhǎng))鈍化不銹鋼頂部電拋光不銹鋼頂部 
750 x 875毫米
29.5 x 34.5英寸
63-63163-635
750 x 1175毫米
29.5 x 46.3英寸
63-64163-645
900 x 1175毫米
35.4 x 46.3英寸
63-66163-665
900 x 1500毫米
35.4 x 59.0英寸
63-67163-675

 

配件 - 所有工作臺(tái)尺寸

可伸縮腳輪(一套四個(gè))83-015-01

 

配件 - 取決于尺寸

工作臺(tái)尺寸
(深 x 長(zhǎng))
滑動(dòng)擱板 - 250毫米(1英寸)
圖案:10毫米(0.4英寸)
孔在25毫米(1英寸)中心
后支撐桿和安裝夾具1 
750 x 875毫米
29.5 x 34.5英寸
81-312-0681-302-05
750 x 1175毫米
29.5 x 46.3英寸
81-312-0681-302-06
900 x 1175毫米
35.4 x 46.3英寸
81-312-0781-302-06
900 x 1500毫米
35.4 x 59.0英寸
81-312-0781-302-07


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